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产品先容
产品先容
Crux 300 装备是拓？ ？萍甲灾餮蟹⒓暇潮Р庾氨，，，，，应用于混淆键合领域，，，，，适配W2W和D2W键合精怀抱测场景，，，，，可实现混淆键合后的套准精怀抱测，，，，，拥有高精度、高产能和无盲区量测三大特点。。。。装备所有性能指标均已抵达海内同类产品水平。。。。
- 8英寸/12英寸晶圆适配
- 基于红外光透射式或反射式量测手艺
- W2W和D2W混淆键合场景兼容
- 小于3nm的超高量测精度和稳固性
- 最大300mm规模内无量测盲区
- 高吞吐量和低CoO
