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产品先容
产品先容
Dione?300/Dione?300?eX是拓？？？？？萍甲灾餮蟹⒌木г不煜虾腿廴诩献氨。。。。。 。应用于存储器、逻辑芯片、背照式图像传感器芯片、三维集成芯片、Micro?LED的生产，，，，该装备拥有等离子活化、洗濯、键合和量测等单位，，，，所有性能指标均已抵达国际同类产品水平。。。。。 。
产品特点
- 12英寸/8英寸晶圆适配
- 室温等离子活化键合
- 超细密光学瞄准系统
- 可设置键合波自动控制系统
- 百纳米级键合后Overlay
- 无键合气泡
- 高精度在线量测能力
