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产品系列
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产品先容
产品先容
SACVD 装备系列是我公司自主研发的次常压化学气相沉积（SACVD）装备。。。。。。SACVD反应腔搭载在已通过量产验证的高产能PECVD平台上，，，，充分实现客户对产能的需求。。。。。。该装备主要应用在STI、PMD/ILD等，，，，知足Gap-fill的需求。。。。。。
产品特点
-高质量的TEOS SiO2和BPSG工艺
-可依客户选择设置1-3路液态源，，，，实现多种先进工艺
-可与8英寸兼容相互切换（PF-200T SA）
-可搭载1-3个PM
-通过S2清静认证和F47标准磨练
