2018年9月尾，，，由沈阳拓？？萍加邢薰咀灾餮兄频12英寸原子层沉积（Atomic Layer Deposition，，，ALD）装备通过了客户的验收。。
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        ALD装备是集成电路制备历程中要害的薄膜沉积装备，，，被视为先进半导体工艺手艺生长的要害环节之一。。
。。。加拿大pc28预测公司基于已通过生产验证的高产能PECVD装备平台，，，乐成研制了海内首台量产型12英寸ALD装备，，，并迅速推向市场，，，可应用于28nm以上极大规模集成电路，，，OLED及先进封装（TSV）领域，，，投入先进生产线，，，用于沉积SiO2，，，SiNx等绝缘薄膜。。
。。。该装备已乐成进入试生产线审核验证，，，历时3个多月，，，通过了客户的审核验收，，，装备各项性能指标均知足要求，，，且抵达或凌驾了国际同类产品的先进水平，，，这是我国在实现半导体装备国产化历程中的又一重大突破。。
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